써모니크

TNBF-6565 Baking Furnace (双面Heater式)

※单元(mm)

Heat zone	650 x 650 x 600H ※可根据客户需求改变设计
Max temp	1500℃ ∼ 2900℃
真空度	达到10(-2) torr范围 ※Diffusion Pump 达到 10(-5) torr范围
使用 Gas	H2, N2, Ar, HCl, Cl2
Utility	Power 90KVA, 冷却水, 工程gas, Air
Optional items	Zone 控制方式可根据客户需求制作强行制冷system 基于Air cylinder的自动DOOR OPEN方式 CE、SEMI规格认证

TNBF-9090 多层式 Heater Furnace

※单元(mm)

Heat zone	1000 x 1000 x 650H, 6层 ※SIZE及层数可根据客户需求改变设计
Max temp	1500℃ ∼ 2900℃
真空度	达到10(-2) torr范围 ※设置Diffusion Pump时，达到10(-5) torr范围
使用 Gas	H2, N2, Ar, HCl, Cl2
Utility	Power 180KVA, 冷却水, 工程gas, Air
Optional items	Zone 控制方式可根据客户需求制作强行制冷system 基于Air cylinder的自动DOOR OPEN方式 CE、SEMI规格认证
特征	1) 采用将试料台直接放到Heater上方，从上下进行烧制的方式温度分布卓越 2) 相比于炉的容积，有效加热zone更大，因而热效率高、耗电低、工程gas的消耗量少

TNGF-4410 四面HEATER TYPE (四边形TYPE CHAMBER)

※单元(mm)

TNGF-4609 六面HEATER TYPE (四边形TYPE CHAMBER)

※单元(mm)

Heat zone	900W x 1100D x 850H ※可根据客户需求改变设计
Max temp	1850℃
真空度	达到10(-5) torr范围 Diffusion Pump + MBP + Rotary Pumping
使用 Gas	N2, Ar, 真空
Utility	Power 400KVA, 冷却水、工程gas, Air
Heater	Graphite Rod Type Heater 上/下/左/右/前/后6面加热方式
绝热材料	Graphite成型绝热材料
Zone 控制方式	4 Zone 控制方式
Inner Box	在Graphite inner box内设置Tungsten Plate
冷却装置	配有强行制冷方式

TNGF-4614 六面HEATER TYPE (四边形TYPE CHAMBER)

※单元(mm)

Heat zone	1400W x 1400D x 800H ※可根据客户需求改变设计
Max temp	2650℃
真空度	使用置换用Dry pump
使用 Gas	N2, Ar
Utility	Power 800KVA、冷却水、工程gas、Air
Heater	Graphite Rod Type Heater 上/下/左/右/前/后 6面加热方式
绝热材料	Graphite成型绝热材料
Zone控制方式	4 Zone控制方式 Binder Trap

TNGF-0405 四面HEATER TYPE (ROUND TYPE CHAMBER)

※单元(mm)

TNGF-0006 ROUNDE TYPE HEATER (ROUND TYPE CHAMBER)

※单元(mm)

TNGF-00T02 ROUND TYPE HEATER(TOP LOADING 方式)

※单元(mm)

主菜